이 책에는 이론이 없습니다.

하지만 이론서에서는 볼 수 없는 실험 과정과 에피소드가 있습니다.

지금 막 실험실에 들어간 학부생과 대학원생들에게

어렵게만 다가오는 어려운 개념을

재미있는 경험 이야기로 풀어 쓰고

꼼꼼하게 채운 『박막과 스퍼터링이야기』

박막을 연구하는 길에 발을 들인 학생들에게 더없이 좋은

멘토가 되어줄 것입니다.

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Chapter 1 진공과 플라즈마

1.1. 우리주변에서 찾아보는 진공

1.2. 플라즈마, 누구나 한번은 들어본 이름

1.3. 인간이 만든 진공의 역사

1.4. 진공을 물리적으로 표현해보자

1.5. 진공속의 모습

1.6. 진공이 가진 힘은?

1.7. 양자역학적 진공

1.8. 진공공학으로의 응용

1.9. 평균자유행로

1.10. 진공을 만든다는 것의 의미

1.11. 이상기체 방정식

1.12. 진공을 만들어주는 장치

1.13. 자연계의 플라즈마

1.14. 형광등의 작동 원리로 보는 플라즈마

1.15. PDP 와 산업에 응용되는 플라즈마

1.16. 디바이 차폐(Debye Shielding)

1.17. 플라즈마의 발생과 유지 ? 파센법칙(Paschen’s Law)

1.18. 플라즈마, 그 안에서 일어나는 일들

1.19. DC 글로우 방전의 과정

1.20. DC 글로우 방전의 음극 전압강하

1.21. RF 글로우 방전

1.22. 아크 방전과 코로나 방전

Chapter 2 박막 형성법과 스퍼터링

2.1. 코팅, 박막, 도금

2.2. 박막형성법의 종류 #1. CVD법

2.3. 박막형성법의 종류 #2. 진공증착(Evaporation)

2.4. 박막형성법의 종류 #3. 이온 플레이팅(Ion Plating)

2.5. 박막형성법의 종류 #4. 스퍼터링(Sputtering)법

2.7. 음극반응. 스퍼터링 시 음극에서 일어나는 일

2.8. RF 스퍼터링(RF Sputtering). #1. 타겟(음극)이 부도체면?

2.9. RF 스퍼터링(RF Sputtering). #2. 부도체 타겟의 스퍼터링

2.10. RF 스퍼터링(RF Sputtering).#3. 자기바이어스(Self Bias)효과

2.11. 마그네트론 스퍼터링(Magnetron Sputtering)

2.12. 플라즈마 내 전자의 움직임

2.13. 반응성 스퍼터링(Reactive Sputtering)

2.14. 다양한 변형 스퍼터링 장치들

2.15. 스퍼터 건과 타겟(Sputter Gun and Target) #1.

2.16. 스퍼터 건과 타겟(Sputter Gun and Target) #2. 타겟의 응용

2.17. 스퍼터링 시 아크발생 문제

2.18. 바이어스 스퍼터링(Bias Sputtering)

2.19. 가스공급 ? 질량유량계 MFC(Mass Flow Controller)

2.20. 진공측정 ? 진공게이지(Vacuum Gauge or Pressure Gauge)

2.21. 기판(substrate)의 선택과 세척 #1

2.22. 기판(substrate)의 선택과 세척 #2

2.23. 스퍼터링!! #1. 시편 장착, 작동 및 세팅확인

2.24. 스퍼터링!! #2. 플라즈마 발생과 안정화

2.25. 스퍼터링!! #3. 스퍼터링과 박막증착

2.26. 스퍼터링율(Sputtering Yield)

2.27. 스퍼터 된 타겟 입자의 상태와 성질

2.28. 스퍼터링 시 갑자기 방전이 꺼지는 현상

Chapter 3 박막의 성장과 미세구조

3.1. 핵의 성장과 연속된 박막의 형성 #1.

3.2. 핵의 성장과 연속된 박막의 형성 #2.

3.3. 박막 두께의 결정

3.4. 박막의 성장과 미세조직 - Structure Zone Model #1

3.5. 박막의 성장과 미세조직 - Structure Zone Model #2

3.6. 박막의 두께 분포

3.7. 스퍼터링 공정변수 #1. 인가전력(파워)

3.8. 스퍼터링 공정변수 #2. 기판온도

3.9. 스퍼터링 공정변수 #3. 작업압력

3.10. 스퍼터링 공정변수 #4. 증착시간

3.11. 스퍼터링 공정변수 #5. 반응성 스퍼터링 ? 분압(1)

3.12. 스퍼터링 공정변수 #5. 반응성 스퍼터링 ? 분압(2)

3.13. 스퍼터링 공정변수 #5. 반응성 스퍼터링 ? 외전

Chapter 4 박막의 특성과 측정

4.1. 표면(Surface)이란?

4.2. 표면에너지(Surface Energy) #1.

4.3. 표면에너지(Surface Energy) #2.

4.4. 박막의 밀착력(Adhesion)

4.5. 밀착력에 영향을 주는 것들

4.6. 박막의 응력

4.7. 박막 표면의 불순물 #1.

4.8. 박막 표면의 불순물 #2.